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VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱
本產品適用于半導體、電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
產品型號:
生產地址: 上海
廠商性質: 生產廠家
發布時間: 2024-09-26

產品概述

品牌其他品牌應用領域化工,石油,電子/電池,航空航天,電氣

VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

本產品適用于半導體、電子產品、五金制品、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。

型號

VOD-90

VOD-210

VOD-216

真空度

≤10 pa

電源

AC380V 3φ 50HZ

功率(KW)

12

18

20

工作環境溫度

 

性能

溫度范圍

RT+10℃~450

升溫時間

2 /minute~4 ℃/minute

降溫時間

2 /minute~4 ℃/minute

(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

結構

外殼

冷扎碳鋼板,經防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷

內膽

5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內外表面拋光

保溫材料

厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好

箱門

真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)

真空泵

LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);

加熱系統

四面輻射加熱

電器系統

系統采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停; 

溫控輸出

SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態繼電器  

安全保護

加熱電流過流、系統短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、

缺相保護、電爐超溫報警等功能

內容積(L))

91

215

252

內部尺寸(㎜)

W450×D450×H450

W560×D640×H600

W700×D600×H600

外部尺寸(㎜)

W800×D800×H1715

W910×D990×H1865

W1050×D950×H1865

VOD-90晶圓芯片高溫烘箱400度真空充氮烤箱

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